空氣過濾器的選用：淨化空調係統（tǒng）根據大氣含塵濃（nóng）度、大氣中各種汙染物（wù）濃度和產品（pǐn）生產（chǎn）工藝特點及要求配置各類空氣過濾器——粗（cū）效、中效（xiào）、高中效、亞高效和高效、超高效以及化（huà）學過濾器等。
具體淨化空調係統中空氣過濾器的配置和（hé）選用（yòng）應根據（jù）潔淨室的（de）空氣潔淨度等級和產品生產工藝的（de）特殊要求（當工（gōng）藝無特殊要求時，一般都是按空氣（qì）潔（jié）淨度等級配置）合理配置和選用，對於6級（1 000級）和比6級潔淨度差的潔淨室的淨化空調係統通常采用三（sān）級空（kōng）氣（qì）過（guò）濾，即粗效、中（zhōng）效和高（gāo）效過濾器；粗效、中效（或中高效）過濾器，通常設在空氣（qì）處理裝置(AHU)內，且將中效或中高效設（shè）在正壓段；高效（xiào）或亞高效過濾器一般（bān）設在潔淨室內淨化空調係統的末端，也有將高效過濾（lǜ）器集中設在集中的空氣處理裝置(AHU)內，但此時應對送風管道提出嚴格的清潔要求，以避免淨化後的空氣被汙染。
對於5級（100級）和更嚴格的潔（jié）淨室的淨化空（kōng）調係統中空氣過濾器的配置，應根據潔淨室的總（zǒng）體設計方案及采用的淨化空調係統的要（yào）求配置各類過濾器，比如有的集（jí）成電路生產用（yòng）4級(O.ltim)和更嚴要求的潔淨室采用新風集中處理，為了嚴格去除大（dà）氣中的微粒和各（gè）種汙染物，通（tōng）常在新風處理裝置中設置粗效、中效（xiào）（中高效）、亞高（gāo）效甚至高效過濾器（qì）和化學（xué）過濾器或水噴淋裝（zhuāng）置等；在潔淨（jìng）室的循環（huán）風係統還設有高效（xiào）、超高效和化學過濾器等；有的集成電路生產（chǎn）用潔淨室還在（zài）生產過程的某些生產區、生產工（gōng）序或（huò）工藝設（shè）備設（shè）微環境（jìng）裝置，以確保產品生產所需的空氣潔淨度要求。
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