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有關高效過濾器DOP測(cè)量用氣溶膠問題探討

時間:2019-12-27 03:29:53

信息摘要:

DOP用於HEPA過濾器效率(lǜ)測量,已有近40年曆史,近幾年來懷疑其所含(hán)環苯是致癌物質,現改用DOS DEHS(常用於單分(fèn)散的)。這(zhè)些物質對IC及盤片驅動(dòng)器生產早已認為對產品有害,因此現常用聚

DOP用(yòng)於HEPA過濾器效率測量,已有(yǒu)近(jìn)40年曆史,近幾(jǐ)年來懷疑其所含環苯是致癌物質(zhì),現改用DOS DEHS(常用於單分(fèn)散的)。這些物(wù)質對IC及盤片驅動器生產早已認為對產品(pǐn)有害,因此現常用(yòng)聚苯乙烯乳膠球(SPLs),粒徑在0.1~1μm的單分散係,可方(fāng)便進(jìn)行(háng)控(kòng)製。但有研究(jiū)認為用DOP測試過過濾器釋放出的DOP量與大氣中含有的DOP量相差不明顯。

  DOP等用壓縮空氣把溶液中的液體通過Laskin噴管霧化成多分散係DOP等,粒徑在0.1~lμm,t>0.35μm的占90%以上。單分散係DOP,現常用DEHS,加熱至一定溫度其(qí)溶液蒸發然後冷卻之,控(kòng)製冷卻溫度以(yǐ)控(kòng)製粒徑。采用多分散(sàn)的DOP測得的過濾器效率要(yào)比用(yòng)單分散的為(wéi)高,其間現尚無轉換關係可循。

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