潔淨等級
1963年,美(měi)國潔淨室標(biāo)準FED-STD-209中(zhōng),按每(měi)立方英尺中≥0.5mm粉塵數量的(de)*允(yǔn)許濃度,將(jiāng)潔(jié)淨室分(fèn)成若幹等(děng)級,如100級、10,000級、100,000級。世界上許多國家都加以效仿。
1999年,國(guó)際標準化(huà)組(zǔ)織ISO頒布了一項國際標準(zhǔn)《ISO14644-1潔淨室與(yǔ)受控潔淨環(huán)境(jìng)》*部分:空氣潔淨度分級。標準中(zhōng)采用了新的分級。
2001年,中國新頒布的潔淨室設計標準中采用了ISO分級。
電(diàn)子工業和(hé)製藥業是與潔淨室關係*密(mì)切的兩個行業。ISO標準一出現,電子行業立刻改用ISO標準定義的潔(jié)淨室級(jí)別,而製藥業目前仍沿用老的(de)潔淨級別規定。中國1998年版GMP規範中比前一版(bǎn)增加了個30萬級。